近日，微電子所健康電子中心黃成軍研究員和毛海央研究員團隊在納米森林柔性濕度傳感器方向取得新進展。

現(xiàn)有濕度傳感器在低濕條件下存在靈敏度低的問題，難以滿足高精度檢測要求。團隊開發(fā)了一種基于碳量子點@納米森林復(fù)合結(jié)構(gòu)的新型濕敏材料，利用納米森林的高孔隙率和超親水特點，及其與柔性基底可兼容制備和晶圓級制備特點，成功研發(fā)出一種新型的高性能柔性濕度傳感器和傳感器陣列。同基于PI濕敏材料或基于納米森林濕敏材料的柔性濕度傳感器相比，該新型傳感器顯著提升了濕度檢測靈敏度，尤其在低濕條件下，其靈敏度提高了4.3倍。

團隊還探索了該新型柔性濕度傳感器和傳感器陣列在高精度環(huán)境濕度監(jiān)測、皮膚濕度檢測、指尖接近探測、植物葉片蒸騰作用檢測等多種場景下的應(yīng)用，展現(xiàn)了其廣闊的應(yīng)用潛力，為智能可穿戴設(shè)備和環(huán)境監(jiān)測等技術(shù)領(lǐng)域的發(fā)展提供了一種新的技術(shù)方案。

來源：傳感器專家網(wǎng)